증발증착 (1) 썸네일형 리스트형 스퍼터링이 뭔가요? SPUTTERING이 뭔가요? 스퍼터링이 뭔가요? 고체의 표면에 고 에너지의 입자를 표면원자와 충돌시켜 고체 표면의 원자나 분자를 면으로부터 제거하는 현상. 주로 이온이 고체 표면에 충돌 시 target 의 입자가 입사되는 이온으로부터 momentum 전달과정에 의해 에너지를 얻어서 밖으로 튀어나오는 과정 플라즈마와 글로우 방전 스퍼터링을 이해하기 위해서는 플라즈마와 글로우 방전이 무엇인지 이해해야 합니다. 1. 플라즈마: 양전하(gas+)와 음전하(e-)가 같은 수로 이온화된 가스 2.플라즈마를 생성, 유지하는 것은 글로우 방전임 3.글로우 방전은 DC 또는 AC(RF systems)에 의해 이루어 짐 플라즈마란 무엇인가요? = 부분적으로 이온화된 기체 성분: 전자, 양이온, 중성원자, 중성분자 플라즈마 Neutrals Positi.. 이전 1 다음
