진공장비 (1) 썸네일형 리스트형 진공펌프의 종류에는 어떤것이 있나요? 압력의 범위에 따른 분류 DIFFUSION PUMP[오일확산 펌프] 1. 작동원리 히터와 Jet Assembly 로 구성되어 있다. 히터에서 끊어 형성된 오일 증기가 증기탑을 따라 상승 하다가 아래쪽을 향한 노즐에서 초음속(약300M/초)으 로분출되는 것이다. 이렇게 아래쪽을 향해 분사되면서 펌프 주변으로 들어온 기체분자들을 함께 같은 방향으 로 이동시켜 배기다 이루어진다. -Pumping Speed(S):200~800L/min -Ultimate Pressure(P):10^-7 ~ 10^-9 torr 2. 펌프의 장점 -작동원리가 간단하며 저 비용으로 높은 펌핑 속도를 나타낼 수 있다. -진동 및 소음이 없다. -어떤 기체나 펌핑 할 수 있다. 3.펌프의 단점 오일의 역류로 진공용기의 오염 및 진공도를 .. 이전 1 다음
