PVD란
모재위에 (증착하고자 하는 물체) 위에 증발(Evaporation) 또는 sputtering을 사용하여 발생시킨 증기를 축적하여
필름을 성장 시키는 방법.
PVD 특성
증착 속도는 표면의 증발 흐름 속도에 비례
증기 생성 방법의 차이에 따라 두 가지 방법으로 분류됨.
금속의 증기를 사용하는 증발(evaporation) 증착법
물질에 물리적인 충격을 주는 방법인 Sputtering 증착법
다음 내용은 EVAPORATION 입니다.
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