진공펌프의 종류에는 어떤것이 있나요?

압력의 범위에 따른 분류

Pressure Ranges

 

DIFFUSION PUMP[오일확산 펌프]

1. 작동원리

       히터와 Jet Assembly 로 구성되어 있다.

       히터에서 끊어 형성된 오일 증기가 증기탑을 따라 상승

       하다가 아래쪽을 향한 노즐에서 초음속(약300M/초)으

       로분출되는 것이다. 이렇게 아래쪽을 향해 분사되면서

       펌프 주변으로 들어온 기체분자들을 함께 같은 방향으 

       로 이동시켜 배기다 이루어진다.

-Pumping Speed(S):200~800L/min

-Ultimate Pressure(P):10^-7 ~ 10^-9 torr

 

2. 펌프의 장점

-작동원리가 간단하며 저 비용으로 높은 펌핑 속도를 나타낼 수 있다. 

-진동 및 소음이 없다.

-어떤 기체나 펌핑 할 수 있다.

 

3.펌프의 단점

오일의 역류로 진공용기의 오염 및 진공도를 저하시키고 오염 및 진공도 저하로 인해 공정의 재현성을 방해한다.

화합물 공정 시 오일의 영향으로 잘 반응하지 않을 수 있다

 

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CRYO PUMP [ 크라이오 펌프]

 

1. 작동원리

       크라이오 펌프는 저온을 이용한 것으로, 차가운 표면에

       기체 분자들이 응축 또는 흡착되도록 하여 제거하는 원리

       를 이용한다. 냉매로는 액체질소나 압축된 헬륨을 이용한 

       다.냉온응축의 경우는 증기를 차갑게 (-153도씨)하여 액화

       시킨 다음 얼리는 방법을 말하는데 –193도씨 단계에서 증기압이

       낮은 물분자가 먼저 제거되고 다음이 N2,O2,Ar등이다.

       다음 단계는 냉온흡착을 이용하는데 –258도씨 영역에서 담당

       하며 He,H2,Ne등 저온에서도 증기압이 높은 기체들의

       운동에너지를 빼앗아 표면에서 움직이지 못하게 하는 것이다

 

2.펌프의 장점

펌프의 오염원이 전혀없고 청결상태의 유지로 인해 펌프로 인한 공정의 영향이 없다.

 

3.펌프의 단점

가격이 비싸다.

 

 

TURBO- MOLECULAR PUMP[터보분자펌프]

1. 작동원리 

      옆의 그림은 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀어나가는

       모습을 나타낸 그림이다.

       터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에

       MOMENTTUM TRANSFER가 일어나고 이때 분자가 원하는

       방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다는 간단한

       원리를 가지고 있다

-Pumping Speed(S)=100 ~ 5000L/min

-Ultimate Pressure(P)=10^-9 ~ 10^-11 torr

 

2. 펌프의 장점

 작동원리가 간단하며 펌프의 오염원이 전혀없고 청결상태의 유지로 인해 펌프로 인한 공정의 영향이 거의 없다.

 

3.펌프의 단점

-가격이 비싸다.

-CVD 에서는 사용하지 않는다.

-Gas 분자를 제거하기 쉽지 않다.     

 

Rotary Piston pump= Oil Sealed Mechanical Pump

 

1.작동원리

진공용기 흡입구(INLET PORT)로 들어오는 기체는

SLIDING VANES에 의해 쓸어 모아져서 압축되고 이때 발생되는

높은 압력에 의해 DISCHARGE VALVE가 열려 기체가 방출된다.

- Pumping Speed(S): 50~3000L/min

- Ultimate Pressure(P):  ~10^-4torr 

 

2.펌프의 장점

역류방지판이나 트랩을 사용하여 진공용기의 오염을 줄일수 있다.

진공용기로 부터 99.9%이상의 공기를 제거할 수 있다.

 

3.펌프의 단점

저진공에서만 사용가능하다.