박막 증착의 정의
증착이란 증착하고자 하는 물질을 수 나노에서 수백 나노 두께로 특정 기판상에 올리는 일련의 과정
박막 증착의 종류
물리 기상 증착법(Physical Vapor Deposition, PVD)
화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)
분자 빔 결정법(Molecular Beam Epitaxy, MBE)
증착은 위와 같은 PVD, CVD, MBE 3종류가 있으나 장식품에서는 PVD, 반도체에서는 CVD를 쓴다고 보시면 됩니다.
증착의 요구조건
1. 원하는 물질, 적은 이물질, 기계적 성질의 우수성을 가져야 함.
2. 시편 또는 시편과 시편간의 균일한 두께를 가져야 함.
3.증착된 부분에 빈 공간(void)이 없어야 함.
4.평평하게 된 박막이 필요.
일반적으로 a)상태를 완벽한 상태라고 보시며 됩니다.
아래는 진공에 대한 기초자료 입니다.
증착에서 진공이 무엇인가요?
진공이란 무엇인가요? “진공” 이란 말은 라틴어의 “Vacua”라는 말에서 유래된 것으로 “비어있다”는 의미이다. 실제로 진공은 단지 부분적으로 비어있는 공간을 의미한다. 진공은 어떻게
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