증착에서 진공이 무엇인가요?

진공이란 무엇인가요?

 

“진공” 이란 말은 라틴어의 “Vacua”라는 말에서 유래된 것으로 “비어있다”는 의미이다.

 실제로 진공은 단지 부분적으로 비어있는 공간을 의미한다.

 

진공은 어떻게 만드나요?

 

진공은 진공펌프를 사용하여 작업 진공용기(Work Chamber)로부터 공기와 기체를 제거함 으로써 만들어 진다.

진공펌프는 여러 형태가 사용되고 있는데 어떤 펌프는 기체를 제거하고 또 어떤 펌프는 기체를 포획하거나

기체의 형태를 바꾼다.

 

진공의 생성

  챔버안의 공기나 다른 Gas를 특별한 PUMP를 사용하여 제거함으로서  생기는 상태를 말하며

  일반적으로 ‘인공진공’이라 부른다

 

진공에는 어떤 진공들이 있나요?

 

러프진공, 고진공, 초고진공이라 불리는 진공의 다른 정도들이 있다. 그 정도는 진공의 응용에 따라 사용되어 진다. 

보다 나은 진공은 공기나 기체들이 적게 존재한다

진공도의 분류

 

대기압 표시 방법을 알아봐요!

 

1atm=14.7psia = 760torr = 1.013*103Pa=1std atm = 101,325 pascal

 

압력이란

 

진공압력의 범위

 

진공은 러프진공, 고진공, 초고진공으로 구분되는데 압력은 아래와 같습니다.

러프진공  :  759 ~ 1 x 10-3 torr

고진공     :  1 x 10-3 torr ~  1 x 10-8 torr

초고진공  :  1 x 10-8 torr 이하

 

그러면 진공은 어디에 사용되는 가요?

 

러프진공 : 스퍼터링, 플라즈마공정, 식품생산, 냉동건조, 전기제품등

고진공    : 증착, 이온주입 ,직접회로생산등

초고진공 : 우주개발등

 

다음은 진공펌프에 대해서 알아보도록 하겠습니다.